解决方案

山东半导体超纯水项目

项目地址:山东曲阜

项目时间:202012

项目产水量:10T/hr

项目工艺:超纯水方面RWT+HEX+MMF+ACF +SR+2RO+EDI+TOC-UV+UPT+PMB

出水标准:≥18.2 ·㎝,TOC5ppb

 

项目亮点

 

水质方面

高纯度:能去除水中几乎所有杂质,包括离子、有机物、细菌、病毒等,电阻率高达 18mΩ*cm 以上,TOC5ppb可满足客户半导体制造对水质要求极高的行业需求,能有效避免杂质对产品质量的影响.

水质稳定:采用精密过滤、反渗透和EDI模块等组合工艺,可确保水质稳定,出水水质波动小,能为生产或实验提供可靠稳定的用水保障.

 

经济成本方面

运行成本低:相比传统的蒸馏法等,超纯水工艺中的反渗透、EDI 等技术能耗低,无需高温加热,可降低能源消耗;且 EDI 技术无需酸碱再生,减少了化学药剂的使用量及相应处理成本.

设备维护成本低:超纯水系统自动化程度高,操作简单,减少了人工维护工作量;同时,系统中的膜组件、过滤器等设备使用寿命较长,维护保养要求低,降低了设备的维修和更换成本.

 

环境影响方面

污染排放少:超纯水工艺过程中无需使用大量化学药剂,避免了酸碱废液等污染物的排放,对环境更友好,符合环保要求,如 EDI 技术在生产过程中不产生酸碱废液,降低了环境污染风险.

资源利用率高:部分超纯水工艺可实现水资源的循环利用,如 EDI 单元的浓水可回流至反渗透产水箱,提高了水资源的利用率,减少了水资源的浪费.

 

生产效率方面

产水速度快:超纯水系统可连续稳定地生产超纯水,产水速度快,能满足大规模生产对大量超纯水的需求,提高生产或实验效率.

占地面积小:超纯水工艺设备紧凑,占地面积小,可节省生产空间,非常满足客户工厂的实际情况。

 


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