产品概况
美国INDION MB115抛光混床树脂作为电子级超纯水制备材料,凭借其在18MΩ·cm超纯水制备和TOC控制方面的卓越性能,正成为全球高端制造企业的标准配置。在半导体制造、化工湿电子、精密电子设备生产等高端制造领域,水质纯度已从"辅助因素"升级为"核心竞争力",为全球高端制造企业的首选解决方案。
MB115抛光混床树脂特别适合用于特殊电子应用的高纯水精处理,如磁盘驱动器、显示设备、CD-ROMs、分立半导体设备、低密度IC 芯片,或后端芯片切割、封装操作、光伏和化学湿电子产品等。因其高再生水平,也适用于一般用途的混床应用,经济地生产出高纯水。在混床的首个周期内就可提供优异的性能,该混床树脂具有1:1.5 化学计量当量的阳离子和阴离子交换容量,且树脂混合物无抱团现象。

产品特性
电阻率指标解析:
18MΩ·cm电阻率意味着水中总溶解固体(TDS)低于0.1ppb,这需要:
1. 阳离子去除率:Na⁺、K⁺、Ca²⁺、Mg²⁺等金属离子去除率≥99.9999%
2. 阴离子去除率:Cl⁻、SO₄²⁻、NO₃⁻、SiO₂等去除率≥99.9995%
3. 电导率控制:25℃时电导率≤0.055μS/cm
TOC控制技术:
- 有机物去除机制:MB115树脂通过离子交换和物理吸附双重机制去除TOC
- 性能指标:初始TOC去除率≥95%,运行周期内保持TOC<10ppb
典型物理和化学参数 | INDION® MB115 | |
应用 | 磁盘驱动器、显示设备、CD-ROMs、分立半导体设备、低密度IC 芯片,或后端芯片切割和封装操作等高纯水精处理 | |
外观 | 球形颗粒 | |
运输重量* | 710kg/m³左右 | |
粒径分布 | 0.3 -1.2mm | |
有效粒径 | 0.45~ 0.55mm | |
均一系数(最大) | 1.7 | |
混合离子 | 阳离子树脂 | 阴离子树脂 |
聚合物骨架 | 交联聚苯乙烯 | 交联聚苯乙烯 |
种类 | 凝胶 | 凝胶 |
官能团 | 磺酸 | 季胺 |
总交换容量(最小) | 1.9 meq/ml | 1.0 meq/ml |
离子交换(最小) | 99% | 90% |
含水量 | 47-55% | 48-58% (Cl 型) |
最高工作温度 | 120℃ | 60℃ |
操作pH范围 | 0- 14 | 0- 14 |
冲洗要求 | 用于超纯水应用的MB 树脂 | |
*树脂经过反洗和排水后,1m³体积的重量。 | ||
应用领域
1. 半导体制造全流程应用
前端工艺:晶圆清洗、光刻胶稀释、蚀刻液配制
后端封装:芯片切割冷却水、封装模具清洗、引线框架清洗
关键指标要求:电阻率稳定在 17.5-18.2MΩ・cm,TOC<5ppb(部分工艺要求)
2. 电子显示设备制造
LCD/OLED 面板:玻璃基板清洗、ITO 镀膜前处理、偏光片贴合
关键优势:避免钠离子迁移导致的像素缺陷,减少 TOC 引起的面板发黄
3. 光伏产业应用
硅片清洗:去除切割液残留、金属杂质
电池片制造:扩散、刻蚀、PECVD 等工艺用水
4. 其他精密制造领域
-磁盘驱动器磁头清洗
-CD-ROM 光盘生产
-湿电子产品(如传感器、MEMS 器件)制造
使用注意事项
1. 系统设计要点
- 预处理要求:进水需满足RO/EDI膜堆产水标准
- 流速控制:运行流速10-15m/h,反洗流速5-8m/h
2. 水质监测:
- 在线监测:电阻率、TOC、温度、流量
- 离线检测:每周取样检测金属离子、硅含量
- 数据记录:建立完整的运行数据档案
3.安全注意事项
- 化学品处理:酸碱操作需佩戴防护装备,设置应急洗眼器
- 废水处理:再生废水需中和处理,符合当地排放标准
- 系统消毒:定期使用过氧化氢或臭氧消毒,防止微生物污染
客户须知
华淼沁经销INDION全系列离子交换树脂,大力鼓励客户立足于人类健康和环境质量,对INDION产品的制造流程和应用进行审查,确保产品不用于预定或测试用途之外的用途。离子交换树脂相关问题华淼沁员工可为您解答,并提供合理的技术支持。在使用INDION树脂产品之前,应先查看产品说明(包括安全信息)。我们可提供最新的产品信息和技术解决方案。