美国INDION MB1100HP抛光混床树脂（半导体级）

产品概况

美国INDION MB1100HP抛光混床树脂作为业界公认超纯水制备材料，能够稳定产出电阻率18-MΩ·cm、TOC低于5ppb的电子级超纯水；适用于半导体制造、光伏产业、电子显示设备制造等高端制造领域和电子级化学品生产用超纯水。选择 MB1100HP，不仅是选择一款优质树脂，更是选择了一种提升竞争力、降低运营成本、保障产品质量的超纯水处理方案。

产品特性

1、电阻率表现：稳定输出≥18MΩ・cm（25℃）的超高电阻率，远超 SEMI F63 标准要求，确保晶圆清洗、蚀刻等关键工序无离子污染风险；

2、TOC 控制能力：出厂 TOC≤5ppb，经严格预处理后可达≤1ppb，有效防止有机污染物在硅片表面形成缺陷点；

3、机械强度卓越：耐磨指数≥95%，在高压、高流速（≥40m/h）工况下，年破损率＜0.5%，大幅降低树脂碎片对下游精密滤芯的冲击；

4、结构设计优势：MB1100HP 采用 "强酸阳树脂 + 强碱阴树脂" 的 1:1 等比例混合技术，通过特殊的核壳包覆工艺，实现阴阳树脂颗粒的完美结合。

应用领域

1. 半导体制造业：晶圆清洗

在14nm以下先进制程中，MB1100HP树脂确保：

- 光刻胶去除：避免金属离子污染导致图形缺陷；

- 晶圆清洗：TOC控制防止有机残留影响器件性能；

- CMP工艺：超纯水质量直接影响平坦化效果。

2. 光伏产业：PERC电池效率的关键

- 硅片清洗：去除金属杂质，提升少子寿命；

- 制绒工艺：TOC控制确保绒面均匀性。

3. 电子显示设备制造：OLED良率的保障

- 玻璃基板清洗：避免离子污染导致显示缺陷；

- 蒸镀工艺：超纯水质量影响薄膜均匀性。

4. 电子级化学品生产：纯度的"最后防线"

- 高纯试剂稀释：确保化学品纯度等级；

- 容器清洗：避免交叉污染；

- 行业标准：满足SEMI C8、C12化学品标准。

5. 实验室超纯水系统：科研数据的可靠性基础

- 分析仪器用水：LC-MS、ICP-MS等精密仪器；

- 细胞培养：避免离子毒性影响实验结果；

- 标准配置：多数国家级实验室首选树脂。

使用注意事项

1. 安装规范：

1）树脂装填：采用湿法装填，避免干树脂直接接触空气；

2）混合比例：阳树脂:阴树脂=1:2（体积比）；

3）排气操作：缓慢进水，充分排气，避免气锁。

2.关键监控参数：

- 在线监测：电阻率、TOC、温度、流量四参数实时监控；

- 报警设置：电阻率<17.5MΩ·cm或TOC>8ppb时报警；

- 定期检测：每月取样检测Na⁺、Cl⁻、SiO₂离子浓度。

3.维护周期：

- 反洗频率：每3-6个月或压差增加50%时；

- 树脂更换：当出水电阻率持续<17MΩ·cm或TOC>10ppb；

- 典型寿命：正常操作条件下12-24个月。

4.使用安全：离子交换树脂再生剂通常为酸性或碱性溶液，具有一定腐蚀性，使用树脂再生剂时操作人员需避免直接与再生剂有任何形式接触。任何氧化剂都有可能导致树脂球体破损，如确需使用，请先咨询技术人员。

客户须知

华淼沁经销INDION全系列离子交换树脂，大力鼓励客户立足于人类健康和环境质量，对INDION产品的制造流程和应用进行审查，确保产品不用于预定或测试用途之外的用途。离子交换树脂相关问题华淼沁员工可为您解答，并提供合理的技术支持。在使用INDION树脂产品之前，应先查看产品说明（包括安全信息），我们可提供最新的产品信息和技术解决方案。