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美国INDION MB1200HP抛光混床树脂(半导体电子级)


产品概况

美国INDION MB1200HP抛光混床树脂作为全球领先的电子级水处理材料,凭借其1:2化学计量当量设计、无抱团混合技术、卓越的18.2MΩ·cm输出能力,满足高纯水制备中要求电阻率≥18.2MΩ·cm,TOC含量<5ppb,为半导体、光伏、电子显示等行业提供了可靠的水质保障。选择MB1200HP,不仅是选择一款产品,更是选择了一种对质量零缺陷的承诺和对环境负责的态度。

 

产品特性

1. 精准的阴阳离子交换容量配比

INDION MB1200HP采用革命性的1:2化学计量当量设计(阳离子:阴离子=1:2),这一创新打破了传统混床树脂1:1的配比模式。在实际应用中,这种设计能够:

- 精准匹配电子级超纯水制备需求:在半导体制造过程中,水中阴离子杂质(如Cl⁻、SO₄²⁻、NO₃⁻)的去除难度远高于阳离子,1:2配比确保阴离子交换树脂有充足的交换容量

- 延长树脂使用寿命:实测数据显示,与传统1:1配比树脂相比,MB1200HP的再生周期延长30-40%,年运行成本降低25%

 2. "无抱团"混合技术的工程优势

"无抱团"(No Clumping)是MB1200HP的核心专利技术,确保阳离子和阴离子树脂颗粒均匀混合:

- 提升交换效率:均匀混合确保水流通过树脂床时,阴阳离子交换同步进行,避免局部失效

- 降低压降:与传统树脂相比,压降减少15-20%,降低泵能耗

3.性能参数与质量标准:超越SEMI标准的卓越表现

 电阻率与TOC控制能力

- 电阻率:稳定输出18.2-18.3MΩ·cm(25℃),达到理论极限值

- TOC控制:<3ppb(典型值),远低于5ppb的行业标准

- 硅含量:总硅<0.2ppb,反应性硅<0.1ppb

- 金属离子:Na⁺<0.01ppb,Cl⁻<0.01ppb,SO₄²⁻<0.01ppb

 

典型物理和化学参数

INDION® MB1200HP

应用

特殊电子应用的高纯水精处理:半导体制造业、光伏产业应用、电子显示设备制造、电子级化学品生产和实验室超纯水系统

外观

球形颗粒

运输重量*

710kg/m³左右

粒径分布
  >1.2mm(最大值)
  <0.3mm(最大值)

0.3 -1.2mm
  5.0%
  1.0%

有效粒径

0.48~ 0.62mm

均一系数(最大)

1.2

混合离子

阳离子树脂

阴离子树脂

聚合物骨架

交联聚苯乙烯

交联聚苯乙烯

种类

凝胶

凝胶

官能团

磺酸

季胺

总交换容量(最小)

2.15 meq/ml

1.0 meq/ml

离子交换(最小)

99%

90%

含水量

48-58%

60% (最大值)

最高工作温度

120℃

60℃

操作pH范围

0- 14

0- 14

冲洗要求

用于超纯水应用的MB 树脂
  用17.0Megaohm.cm 的水进行冲洗,以满足严格的质量要求

*树脂经过反洗和排水后,1m³体积的重量。

 

应用领域

1. 半导体制造业(晶圆制造)

- 应用场景:光刻、刻蚀、清洗、化学机械抛光(CMP)

- 水质要求:18.2MΩ·cm,TOC<5ppb,颗粒<1个/mL(>0.1μm)

- MB1200HP优势:极低的离子溶出率,避免硅片表面污染

2. 光伏产业(太阳能电池制造)

- 应用场景:硅片清洗、扩散、PECVD、丝网印刷

- 水质要求:17.5-18.0MΩ·cm,TOC<10ppb

- MB1200HP优势:稳定的水质输出,确保电池转换效率

3. 电子显示设备制造(LCD/OLED)

- 应用场景:玻璃基板清洗、光刻、薄膜沉积

- 水质要求:17.0-18.0MΩ·cm,TOC<20ppb

- MB1200HP优势:无有机溶出,避免显示面板缺陷

4. 电子级化学品生产

- 应用场景:光刻胶、显影液、蚀刻液等超纯化学品稀释

- 水质要求:18.2MΩ·cm,TOC<1ppb(特殊要求)

- MB1200HP优势:超低TOC输出,确保化学品纯度

 5. 实验室超纯水系统

- 应用场景:分析实验室、研发中心、质量控制

- 水质要求:18.2MΩ·cm,TOC<5ppb

- MB1200HP优势:稳定的水质,支持高精度分析

 

使用注意事项

1. 系统设计与安装要点

- 预处理要求:必须配备完整的预处理系统(多介质过滤+活性炭过滤+反渗透+EDI)

- 树脂装填:采用湿法装填,避免干树脂直接接触空气

- 流速控制:建议运行流速10-20 BV/h,反洗流速5-10 BV/h

- 温度控制:保持25±2℃的恒温环境

2.关键监控参数:

- 在线监测:电阻率、TOC、温度、流量四参数实时监控;

- 报警设置:电阻率<17.5MΩ·cm或TOC>8ppb时报警;

- 定期检测:每月取样检测Na⁺、Cl⁻、SiO₂离子浓度。

3.维护周期:

- 反洗频率:每3-6个月或压差增加50%时;

- 树脂更换:当出水电阻率持续<17MΩ·cm或TOC>10ppb;

- 典型寿命:正常操作条件下12-24个月。

4.安全注意事项

- 化学防护:虽然为H+/OH-型,但仍需避免皮肤直接接触

- 环境控制:储存于阴凉干燥处,避免阳光直射

- 废弃处理:失效树脂按危险废物处理规范处置

 

客户须知

华淼沁经销INDION全系列离子交换树脂,大力鼓励客户立足于人类健康和环境质量,对INDION产品的制造流程和应用进行审查,确保产品不用于预定或测试用途之外的用途。离子交换树脂相关问题华淼沁员工可为您解答,并提供合理的技术支持。在使用INDION树脂产品之前,应先查看产品说明(包括安全信息),我们可提供最新的产品信息和技术解决方案。

 

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